ANSI/NFPA 318-2011 半导体生产设备的保护标准

作者:标准资料网时间:2024-05-15 12:50:44 浏览:9416 来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardfortheProtectionofSemiconductorFabricationFacilities
【原文标准名称】:半导体生产设备的保护标准
【标准号】:ANSI/NFPA318-2011
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:2011
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国国家标准学会(US-ANSI)
【起草单位】:ANSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Cleanrooms;Clean-roomtechnology;Firesafety;Safetyengineering;Safetyrequirements
【摘要】:1.1Scope.Thisstandardappliestosemiconductorfabricationfacilitiesandcomparablefabricationprocesses,includingresearchanddevelopmentareasinwhichhazardouschemicalsareused,stored,andhandledandcontainingwhatishereindefinedasacleanroomorcleanzone,orboth.
【中国标准分类号】:L95
【国际标准分类号】:13_040_35;13_220_99
【页数】:
【正文语种】:英语

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